微光学和纳米光学制造技术.pdf
Shanalyn A.Kemme
本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维（3D）光子晶体的制造———钨成型法。
本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家，代表了当今微光学加工的领先水平。本书可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和光机结构设计（尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究）的工程师使用，也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。
本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家，代表了当今微光学加工的领先水平。本书可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和光机结构设计（尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究）的工程师使用，也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。
Kategorie:
Rok:
2010
Wydawnictwo:
机械工业出版社
Język:
chinese
Strony:
213
ISBN 10:
7111394488
ISBN 13:
9787111394488
Serie:
国际信息工程先进技术译丛
Plik:
PDF, 74.43 MB
IPFS:
,
chinese, 2010
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