Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок...

Main
Technique - Nanotechnology
Метод реактивного ионно-лучевого...

Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Шевчук С.Л.

0 / 0

0 comments

Jak bardzo podobała Ci się ta książka?

Jaka jest jakość pobranego pliku?

Pobierz książkę, aby ocenić jej jakość

Jaka jest jakość pobranych plików?

Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.

Kategorie:

Technique - Nanotechnology

Rok:

2002

Wydanie:

Кандидатская диссертация

Język:

russian

Strony:

161

Plik:

PDF, 8.29 MB