Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем: Учебное пособие

Рассматриваются проблемы производственных систем изготовления электронной аппаратуры. Значительная часть работы посвящена изучению технологических процессов производства микросхем. Представлены вопросы организации маршрутной технологии и сравнительные технико-экономические оценки свойств продукции. Пособие предназначено для студентов дневной и вечерней форм обучения технологических и экономических специальностей, и может быть использовано при проведении курсового и дипломного проектирования